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高线密度单晶硅深蚀刻光栅

高线密度单晶硅深蚀刻光栅

工作波长:1-10nm尺寸:25mm x 25mm雕刻密度:1800gr/mm、3600gr/mm纵横比:0.2网格线深宽比:100衍射效率···
高线密度单晶硅深蚀刻光栅
产品详情


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工作波长:1-10nm

尺寸:25mm x 25mm

雕刻密度:1800gr/mm、3600gr/mm

纵横比:0.2

网格线深宽比:100

衍射效率:>40%(理论值)


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